【ナノテク】透過型電子顕微鏡を分解することなくクリーニングする手法を開発　産総研ら

1 ： ◆NASA.emcN. ＠びらぼんφ ★：2008/07/07(月) 19:04:24 ID:???

独立行政法人産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門ナノ科学計測
グループ堀内 伸 主任研究員は、株式会社シーゼットアイと共同で、透過型
電子顕微鏡(TEM)をクリーニングし、顕微鏡本体から試料への汚染（コンタミ
ネーション）を防止する手法の開発に成功した。

透過型電子顕微鏡は、物体をナノメートルレベルで観察する装置として、材料、
バイオ分野などにおいて広く用いられているが、長期間使用することにより
装置内部に残存する汚染物が試料に付着して、観察・分析能力を低下させる
ことが問題となっている。

今回、プラズマ発生装置から生成させた活性酸素を顕微鏡内部に循環させる
ことにより、顕微鏡を分解することなく汚染物を除去することに成功した。

これにより、顕微鏡本体から試料への汚染が低減され、分析能力が向上する。
汚染物は成分元素として炭素を含むので、特に高分子等の有機材料中における
軽い元素の分析に効果を発揮する。

今回の開発は、電子線トモグラフィー、ナノビーム電子回折、EELS（電子線
エネルギー損失分光）、EDX（X線エネルギー分光）、 STEM（走査透過型
電子顕微鏡）など、長時間の電子線照射が必要な分析装置にも有効であり、
最先端の材料分析に貢献できる。

研究の詳細は、平成20年8月3〜7日にアメリカ・アルバカーキで開催されるアメリカ
顕微鏡学会主催Microscopy & Microanalysis 2008で発表の予定である。

（長文の為抜粋しました。続きは以下のソースをご覧下さい）
http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2008/pr20080707/pr20080707.html
画像：
http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2008/pr20080707/fig1.jpg
（本技術によるクリーニング前後）
産業技術総合研究所プレスリリース　2008年7月7日